六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被广泛应用于电器工业，如：断路器、高压开关、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。但是当含有SF4等杂质时便变成有毒物质。当吸入高浓度SF6时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。所以SF6气体使用中应注意泄露监测。
SF6泄漏监测分为定性和定量检查，定性检查是直接对设备各接头密封点铝铸件进行检测，可以查出设备各泄漏点位置。定量检查是通过包扎检测、挂瓶法或压力折算求出泄漏量，从而得出年泄漏率。
定性检漏有抽真空检漏和检漏仪检测两种方法:
① 抽真空检漏法是将设备抽真空至40Pa，停泵0.5h，在真空表上读出A数，再停5h，读出B数，若B - A≤133Pa，则认为密封良好；
② 检漏仪检漏是将检漏仪探头沿设备各连接口表面和铝铸件表面移动，根据检漏仪读数判断气体的泄漏情况。检漏仪检漏时应注意:探头移动速度应慢，以防探头移动过快而错过泄漏点;检漏时不应在风速大的情况下，避免泄漏气体被风吹走而影响检漏;检漏仪选择灵敏度高、响应速度小的检漏仪，一般使用检漏仪的低检出量＜lppm，响应速度＜5s较为合适。定量检漏通常采用扣罩法、挂瓶法、局部包扎法、压降法等方法。扣罩法适用于高压断路器、小型设备适合做罩的场合，挂瓶法适用于法兰面有双道密封槽的场合，局部包扎法一般用于组装单元和大型产品，压降法适用于设备隔室漏气量较大时或运行期间测定漏气率。通常，SF6设备在交接验收试验中，检漏工作都使用局部包扎法和扣罩法查漏。
合格的SF6气体是无毒的，但有使人窒息的危险， SF6气体应存放在通风良好的地方，且要防晒、防潮。工作人员在进入低位区域前，应检测该区域内的氧含量，如发现氧含量低于18%，则不能进人该区。气体采样操作及处理一般渗漏时，要在通风条件下戴防毒面具工作。
