真空箱氦检漏中氦质谱检测系统的关键部件是进口设备，性能稳定可靠，能够满足各种需求。真空箱氦泄漏检测显示长体积和的性能，适用于许多行业。真空箱氦泄漏检测采用氦质谱和反扩散原理。采用分子泵，180°磁场不均匀，采用全自动控制技术，实现氦峰自动扫描、自动调零、自动校准、自动量程切换。它具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰性好等优点。氦质谱检漏仪可以检测微电子或半导体器件封装腔体的气密性。该检测方法使用的示踪气体为氦气，质量小、重量轻、渗透性强，达到了精细检漏的目的。真空箱氦泄漏检测有五个特点:一是检测时间和响应周期很短，可达2s以内；二是常用检测介质，只需压缩空气；三、大泄漏有多种防护方法，充分保护离子源在暴露于大气中时不受氧化冲击和冲击；四、大检漏功能:通过预设压力，可以排空，但达不到预设值，检漏仪自动给出报警提示。多个测量单位的选择，检测数据的实时更新，直接输出，Excel表格的生成。采用真空法检漏时，应使用辅助真空泵或检漏器对被检产品的内密封室抽真空，并用氦气或空气射流向被检产品表面注入氦气。当被检产品表面有漏孔时，氦气通过漏孔进入被检产品内部，然后通过氦质谱检漏仪送到被检产品的测漏装置。真空法按漏气方式可分为真空喷射法和真空氦气面罩法。其中真空氦掩膜法是用喷枪向被测产品外表面吹氦气的方法，可以实现漏孔的定位；真空氦罩法用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有待检产品，使待检产品充满一定浓度的氦气，可以测量待检产品的总泄漏率。