FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为"风机滤器单元（机组）"。也就是将风机和过滤器（高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA））组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备。

箱体材质可依客户需求，依环境需要采用不锈钢或钢板烤漆。风机组附运转指示灯及外接接点，以利监控。风机组附异常指示灯及外接接点，可自行检视异常原因，于正常送电下风机无运转时．异常灯亮。（可能出现下列情况） :

特点：

:灵活性。

因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

第二:可再利用性。

从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三:负压通风。

这是FFU的特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。

第四:缩短建设周期。

使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

第五:减少运行成本。

虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。