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聚焦智能控制、测量与信号处理 IEEE-ICMSP 2022在杭州开幕
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2025年04月13日 09:36:40 来源:台钻科技(郑州)有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:36
CVD反应炉的种类有以下几种:
1,热丝 Hot Filament
2,直流电弧喷射 DC Arc Jet
3,微波等离子 Microwave Plasma
前二种适合生长多晶薄膜。微波分为2.45GHz及0.915GHz两种频率, 后者可以做到数十到百KW的功率,其托盘直径可达4-6英寸,较前者的生产效率(6KW,2英寸)高很多,大型设备是未来CVD炉的趋势。
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