岛津氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里*的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。
岛津氦质谱检漏仪的进展：
(1)便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏：有些国家生产的岛津氦质谱检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
(5)检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
岛津氦质谱检漏仪自身保养小知识
(1)前级真空泵的定期换油及深度保养；
(2)电磁阀组的超声清洗；
(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。
岛津氦质谱检漏仪主要配置采用检漏仪定制产品。设备内芯的制造借鉴*技术，整机设置合理、性能稳定。具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点。
