近年来随着工业仪器仪表控制技术、微型机械系统的不断发展，现如今在很多工况下需求体积更小巧、功能更集成、性能更优异、长寿命、无油环保的微型真空泵、微型真空抽打气泵、微型真空水泵等产品得到越来越多的广泛使用。如：设备成套、实验室抽真空添加试剂、汽车配件运用、环保采样、食品饮料灌装、工厂吸附设备主要气源、一般应用气路系统设计等领域有着巨大的应用前景。
        微型泵作为微流量控制系统的核心执行部件，需要结合应用场景、微型泵相关参数和结构特性，对气路中流量、真空度、压力进行综合设计，本文通过对于流量调节回路设计、真空度调节回路设计、压力调节回路设计、进排气切换回路设计、流量脉动性消除气路设计，对微型泵典型气路系统设计进行了描述，可作为工程设计人员在微型泵气路设计和选型时的技术参考。

本设计指南包含以下内容：

前  言                                                                     1
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目  录                                                                     3
1 背景介绍                                                             4
    1.1 背景介绍                                                      4
    1.2 基础知识                                                      4
    1.3 流量脉动性                                                   6
2 流量调节回路                                                      9
    2.1 流量调节回路设计                                        9
    2.2 通过调速功能调节流量                                10
    2.3 导致流量衰减的因素和解决方案                   11
3 真空度调节回路                                                  13
    3.1 真空度调节回路设计                                    13
    3.2 导致真空度衰减的因素和解决方案               14
4 压力调节回路                                                     16
    4.1 压力调节回路设计                                       16
    4.2 导致压力衰减的因素和解决方案                  17
5 进排气切换回路                                                 19
    5.1 采用二位四通阀实现进排气切换                  19
6 流量脉动性消除方案                                          21
    6.1 通过缓冲气室消除流量脉动性                     21
    6.2 其他替代方案                                              22