隔膜泵属于容积式泵，通过隔膜往复运动改变泵腔容积实现介质传输，因此流量会因为机械结构运转呈现一定的脉动性。
流量的脉动性可以用玻璃转子流量计浮子的抖动情况来粗略、直观的查看。根据真空泵内部结构腔室数量不同，双腔室的比单腔室的流量脉动性要小，而三腔室的比双腔室的流量脉动性更小。

成都海霖科技有限公司生产的微型泵产品型号规格有很多。从内部泵腔结构上可以分为：单腔泵、双腔泵、三腔泵几种类型。微型泵的内部泵腔个数不同输出的流量脉动性也不同。通过高频响应的流量传感器，我们可以从微观上看到气流波形，非常直观的展现了气流的脉动性。

平均流量

平均流量一般是采用皂膜流量计测量的泵在一段时间内传送的气体体积。

峰值流量

指真空泵在一定的压强和温度下，所抽吸的气体在某一时刻流量的值（单位：L/min）。峰值流量一般可以采用普通玻璃转子流量计粗略测量。

单腔泵

主要产品系列：C13、C15、C09、C26、C30、D50、D15、D23、D35、D50、S23、FML、FNY、FKY、FCY、FAT、VLC、VLK、VML、VAY（采用双腔串联，效果类似于单腔）、VBY、VAK、VCY、VKY、VAT、WNY、WKY、WPY、WAT。

双腔泵

主要产品：D60、S36和FQY、VQY、WJY系列。
 

三腔泵

主要产品：C09、VUY、VJY、VAJ、WQY、WUY、WAJ系列。

特别说明

1、以上示意图仅供参考，也反应了泵的流量脉动性。

2、泵在不同的管路系统中的流量输出特性会有所变化，以上示意图仅是泵在空载时的输出特性，不作为验收依据。

总结：泵的工作腔室越多输出流量越平稳，但同时导致结构更加复杂、成本更高。