热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的仪表，区别于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。

可应用于：

半导体制造行业；

分析仪器设备行业；

各种形式的真空镀膜设备；

环境检测与分析设备；

化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业；

特种材料表面处理装置与燃烧；

混气配气系统和泄露探测系统等。

气体质量流量计选型的时候需要注意一下几方面问题：

1.通过的介质。气体流量计适用于各种气体，包括特殊气体和腐蚀性气体。以腐蚀性气体为例：腐蚀性气体通过流量计的时候如果流量计没有经过特殊处理过，会因为腐蚀性气体的特性，造成密封元件等方面的故障，从而影响到了流量计的正常使用，因此相关特性的介质在选型的时候需特别关注密封材料等信息，如全金属密封，耐氨橡胶等密封材质。另外像氢气、甲烷等可燃性气体需注意气体浓度过高所造成的爆点问题等等。

2.量程范围（或者称之为流量范围）。在流量计选型的时候，首先要确定所需流量计的量程问题，以HORIBAMETRON（堀场汇博隆）公司产品为例：公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算，非氮气介质时是以氮气与该气体转换系数来换算以确定标定流量。

3.压力范围。HORIBAMETRON流量计耐压3MPa, 压差范围为（0.05-0.3）MPa。3MPa以内可直接安装使用；需注意的是有些行业需要在高压状态下工作，要明确压力范围是否满足。

4.接口通径。选择接口时需针对管路状况进行选择，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，软管接头Ф4mm～Ф10mm等为主 。

5.供电电压和控制。以HORIBAMETRON流量计而言，供电电压有±15V和24V两种。控制接口有9针和15针的，也有9孔和15孔的。

6.通信协议。相对于数字式流量计而言很多时候都会涉及到通信协议问题，以 MODBUS 、Profibus、DeviceNet为标准，在选择时注意协议类型。备注（某些行业在选择流量计时模拟控制就可满足要求）需注意。