真空腔体作为现代科技领域的重要设备，其分类方式多样，主要依据结构形式、制造材料、真空度等级及专用功能进行划分。不同类型的真空腔体在工业生产和科学研究中发挥着重要的作用。

从结构形状来看，常见的真空腔体包括垂直型、水平型和立方型。垂直腔体采用圆柱形设计，特别适合空间受限的应用场景；水平腔体则更适用于长尺寸工件的连续处理；立方腔体因其多面体结构而便于集成多种功能接口。此外，针对特殊需求还可定制异形腔体。

材料选择直接影响腔体性能。不锈钢腔体凭借优异的耐腐蚀性和低放气率，成为高真空和超高真空环境的shou选。铝合金腔体以其轻量化和良好的导热性见长，而钛合金腔体则在强腐蚀性环境中展现出**优势。

根据真空度要求，腔体可分为低真空、高真空和超高真空三个等级。低真空腔体结构简单，适用于一般工业应用；高真空腔体需要特殊的表面处理工艺；超高真空腔体则对材料纯度和表面光洁度有着近乎苛刻的要求。

功能型腔体针对特定工艺需求设计。真空镀膜腔体集成了多种功能组件，高低温测试腔具备**温控能力，等离子体处理腔则配备了专业的电极系统。在选型时，需要综合考虑密封方式、表面处理工艺和系统扩展性等因素，以确保设备性能与工艺需求的wan美匹配。