超声与电火花加工相结合的超声电火花复合打孔，可有效地提高放电脉冲利用率达50%以上，提高生产率数倍至数十倍,加工面积越小，加工用量越小，生产率提高越多，故适合于微孔加工。

（1）超声电火花复合打孔的基本原理

超声电火花加工复合打孔的基本装置如图9-15所示，其基本原理是将超声声学部件固紧在电火花加工机床的主轴头下部，电火花加工用的脉冲电源加到工具（钢针）和工件上（精加工时工件接正极）。超声振动头由和变幅杆组成，加工时，超声波发生器把超声频的脉冲电波传输给，把电能转换为超声频的机械伸缩振动能传给变幅杆，变幅杆把超声频的机械振动波传给电极工具，使工具电极的下端面做（4~5）×10⁴ 次/s的超声频振动，振幅约为1~2μm。此时脉冲电源向工具电极和工件间输出脉冲电压，如果间隙合适，就会在煤油工作液中火花放电。

（2）超声电火花复合打孔的工艺效果与应用

①  提高加工深度和加工速度。在同样的条件下打孔，超声电火花复合打孔的深度是电火花打孔深度的3倍以上。加工直径0.25mm孔时，超声电火花复合打孔的极限深度为10mm以上，深径比高达40以上。超声电火花复合打孔与电火花打孔相比，当孔深为0. 4mm时，前者所需加工时间是后者的1 /5〜1/4,当孔深增加到1mm时，加工时间则为1/12〜1/10。

②  提高打孔精度及降低孔的表面粗糙度。电火花打孔和超声电火花复合打孔加工质量的对比结果如表9-3所示。从表中可以看出，超声电火花复合打孔的尺寸精度、形位精度和孔的表面粗糙度明显优于电火花打孔。