超声珩磨装置有立式和卧式两种，根据油石的振动方向，超声珩磨装置可分为纵向振动和弯曲振动超声珩磨装置两种类型。

超声珩磨装置由珩磨头体、珩磨杆、浮动机构、油石胀开机构、超声振动系统等五个部分构成，它是超声珩磨工艺系统的关键部分。而超声振动系统又由换能器、变幅杆、弯曲振动圆盘、挠性杆-油石座振动子系统、油石座等零部件组成。

图7-5是纵向振动超声珩磨装置，换能器1将超声频电振荡信号转变为超声纵向振动，经变幅杆放大后传给弯曲振动圆盘，挠性杆再将弯曲振动圆盘的弯曲振动转变成纵向振动后传给油石座，油石座带动与其连接的油石进行纵向振动，同时油石与箭头C、B所指的回转及直线往复运动叠加在一起进行超声珩磨加工。

图7-6是弯曲振动超声珩磨装置示意图。1是扭转振动压电换能器，2是变幅杆，3是扭转振动圆盘。在该盘的外圆附近，等距离地固定挠性杆4，与挠性杆相连的是弯曲振动油石座5，,珩磨杆6按箭头A所指的方向振动，箭头B、C为超声珩磨装置的直线往复和回转运动方向。