②加工精度及其影响因素。超声加工的精度，除受机床、夹具精度影响之外，主要与磨料粒度、工具精及其磨损情况、工具横向振动大小、加工深度、被加工材料性质等有关。一般加工孔的尺寸精度可达±（0.02～0.05）mm。

a. 孔的加工范围。在通常加工速度下，超声加工孔径和所需功率的大致关系见表6-2。一般超声加工的孔径范围约为0.1～90mm，深度可达直径的10～20倍以上。

b. 加工孔的尺寸精度。当工具尺寸一定时，加工出孔的尺寸将比工具尺寸有所扩大，加工出孔的最小直径D_min约等于工具直径D_t，加所用磨料磨粒平均直径 的两倍，即

超声加工孔的精度，在采用240^#～280^# 磨粒时，一般可达±0.05mm；采用W28～W7磨粒时，可达±0.02mm或更高。

此外，对于加工圆形孔，其形状误差主要有圆度和锥度。圆度大小与工具横向振动大小和工具沿圆周磨损不均匀有关。锥度大小与工具磨损量有关。如果采用工具或工件旋转的方法，可以提高孔的圆度和生产率。

③表面质量及其影响因素。超声加工具有较好的表面质量，不会产生表面烧伤和表面变质层。

超声加工的表面粗糙度也较好，一般可在Ra1～0.1μm之间，取决于每粒磨粒每次撞击工件表面后留下的凹痕大小，它与磨料颗粒的直径、被加工材料的性质、超声振动的振幅以及磨料悬浮工作液的成分等有关。

当磨粒尺寸较小、工件材料硬度较大、超声振幅较小时，加工表面粗糙度将得到改善，但生产率则随之降低。

磨料悬浮工作液体的性能对表面粗糙度的影响比较复杂。实践表明，用煤油或润滑油代替水可使表面粗糙度更有所改善。