紫外激光切割机（通常是指采用紫外纳秒激光器集成的激光设备）称之为冷激光微精密加工系统。其工作原理是通过355nm激光波长激光照射到材料表面，破坏材料的分子间形成切割、刻蚀、打标等。常用于微精密激光加工系统中，如PCB激光切割、分板，FPC激光切割，摄像头模组激光切割，指纹识别芯片激光切割，硅片激光切割，陶瓷激光切割，超薄金属材料激光切割，PET/PI薄膜激光切割等。

超薄铜箔激光切割样例

紫外激光微精密加工系统的优势在于热影响区域小，光斑小，光束质量高，加工质量高、精度高，根据其配置不同，其精度差异化非常大。本文列举核心配件对于紫外激光精密微加工系统的精度影响：

激光器：激光器是紫外精密微加工系统中最核心器件，直接影响着激光加工的精度，光般大小、光束质量、重复频率、光斑圆度、脉冲宽度直接影响着激光输出的精度，每种激光器的功率参数不同，且每个公司的参考参数都不同，对应的精度差异大。作为切割机而言，相比较来说一般采用的是7W以上的大功率紫外激光器，而在这方面恰恰是国内激光器厂家比较薄弱之处。目前比较优质的紫外激光器（都是进口）美国光谱物理、德国通快、美国相干、美国普爱、美国光波等。

振镜：振镜为激光器外光路系统中的重要核心器件，振镜好坏体现在速度、光斑圆度、光斑偏转精度等因素，同样作为紫外激光切割机而言，几乎90%的振镜源于进口，这类的典型厂商有德国SCANLAB、德国RAYLASE、美国CTI等。国产振镜跟激光器一样还有很大的差距。

场镜：场镜也称为透镜，场镜的扫描范围直接影响的是光斑的精度，光板的大小决定了在加工材料过程中的热影响区域，比方说在玻璃镀层上刻蚀，单次划线的精度从5-20微米不等，其主要因素决定于场镜的大小，通常情况下作为切割用的透镜范围在30-40mm之间，而想要在玻璃镀层上更小的线宽，则需要6-15mm的透镜。透镜越小，光斑越小，对应能做到的热影响更小，精度更高。小的透镜价格非常高，几乎也都是进口，主要供应商有SILL、业纳等。

直线电机：直线电机影响的是拼接精度，一般加工的材料幅面都会比透镜的扫描范围要大，因此都会采用相机识别，通过直线电机移动拼接，好的直线电机拼接精度可以做到1μm。对于一些没有拼接精度要求，只是需要光斑精度的材料可以考虑采用伺服电机，能够节省很大一部分成本费用。

软件控制系统：软件控制系统影响着整机的重复精度，需要通过软件控制不停的校正来保证整机精度。每个公司都有自己定制的软件控制系统，差异化不大，各有个的特点，相比较而言，软件往往也是容易让人忽视的一部分。

其他也有一部分因素影响着加工的精度，如使用环境的其他外在因素，设备本身影响加工精度的几大因素也均为几个核心器件，因而通常情况下采用的核心器件几乎均是进口，这也是为何每个厂家的价格差异化的主要原因。

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