利用氢气在氯气中不爆炸的条件下进行的方法来制，合成的主要方法和所用设备有如下 合成是由两套相同的合成炉系统，H2、CL2缓冲罐，事故排放接收设备组成（其中H2、CL2缓冲罐及事故排放装置为两套合成炉系统共用）。来自氯碱装置的氢气及从三氯氢硅合成工序返回的循环氢气输送入氢气缓冲罐。出氢气缓冲罐的氢气分别去两条生产线的合成炉01R0301a。来自液氯汽化工序的氯气穿过01V0302氯气缓冲罐，分别去两条生产线的合成炉 01R0301a。    经缓冲罐后的氯气和氢气分别经过氯气阻火器和氢气阻火器，然后按一定的流量比进入合成炉01R0301，在炉内进行燃烧，生成，生成的HCL经管道冷却和水冷却器（01E0301a/b），进入HCL缓冲罐（01V0303a/b），然后送到三氯氢硅合成工序。

     我公司是高纯度的专业销售企业，所售产品性能，质量稳定，处于地位，达到水平。钢瓶装电子级产品分别经国家标准物质研究中心和专用材料质量监督检验中心抽样检验，纯度大于99.999%，总杂质含量小于5ppm，符合国家标准GB/T24469-2009。