盐酸脱析法是将浓盐酸置于脱析塔钟加热脱析制备，在七十年代末期发展出来的。然后，经过一系列的常温、低温干燥、吸附除水以及二氧化碳，压缩至1.2Mpa，进行低温精馏，再经过低温吸附除去氮后压缩至4.2Mpa，然后再进行装瓶。

     发生法是在七十年代以前，电子工业用高纯度的制备一直是将浓硫酸滴加到浓盐酸中，将其中的水吸收掉，使得过饱和的析出。到了七十年代到八十年代初期，制备方法发展到用浓硫酸与焙烘干的食盐反应，生成高纯度的，再用压缩机压入钢瓶中。 

     合成法用氯和氢在合成炉中进行燃烧反应生成是八十年代初为适应我国电子工业的迅速发展而提出的，在技术上较为，由合成炉出来的经常温、低温干燥和吸附净化，在低温、低压下冷凝，排除不凝气体杂质，以液态装瓶。氯、氢合成中，氢过量5％左右，中含氢高，以间歇精馏装置除氢。此外，原料氢是经钯膜扩散提纯，生产规模受到一定限制。 

     发生法以及脱析法生产规模较大。