在如三氯氢硅的众多工业生产中所副产出的，想要得到很好的二次利用，就需要认真分析各种工艺方法的利弊，结合利用。
    利用活性炭对氯硅烷的吸附作用。当尾气中、氢气及少量未液化的氯硅烷经过活性炭后，其中的氯硅烷就被活性炭吸附，当活性炭吸附饱和后，由蒸汽加热，脱出吸附的氯硅烷，与合成产品一同送离系统进行分离。未被吸附的经水吸收后，变为副产品盐酸外售。剩余的氢气送合成系统按一定比例与氯气燃烧生成循环使用。 
    吸附塔吸附方法是在回收少量的氯硅烷的基础上，尾气中的被水吸收后成为盐酸。不但解决了酸性水排放的问题，同时增加了副产品盐酸，增加了经济效益。但是该方法对活性炭的要求较高，蒸汽用量较大，经济性差。
    回收利用方法多样，也各有利弊，想要得到预期效果，就要扬长避短，将多种工艺结合使用。
    淄博万达利特种气体公司生产的是在淄博齐鲁石化工业园区注册的企业，淄博万达利直属于北京华宇同方，主要从事新材料技术和化工新技术的研发，以及产品的生产和销售。研发的沸石催化剂及其应用技术处于水平。生产的“华宇同方”牌高纯产品与国际品牌的性能相当，为半导体器件制造业、光伏产业和医药工业提供了充足的优质原材料。