氢和氯在合成炉中进行燃烧反应生成是八十年代初为适应我国电子工业的迅速发展而提出的，在技术上是较的方法。此种方法生产的纯度在99.9％(质量分数)以上。
    其工艺流程为：原料氢气由氢气处理工序的氢压机送来，经氢气缓冲罐后由阻火器进入钢制合成炉底部的燃烧器(俗称石英灯头或钢套管灯头)点火燃烧。原料氯气由氯处理工序的氯压机加压后输送至缓冲罐，按一定的分子比进入合成炉灯头的内管，由下而上经由灯头上的斜孔均匀地和外套管的氢气混合燃烧。燃烧火焰温度达到2000℃左右，并放出热和光，正常火焰呈青白色。合成后的利用合成炉夹套冷却水冷却，合成炉出口温度降到400～600℃时， 经空气冷却器自然冷却，被冷却至100～150℃ ，经除铁器进入石墨冷却器冷却至40～5O℃ 左右，再进入深冷石墨冷却器进一步冷却，冷却后的从石墨冷却器下部排出，进入酸雾分离器进一步除去中的盐酸雾滴。由合成炉出来的经常温、低温干燥和吸附净化，在低温、低压下冷凝，排除不凝气体杂质，以液态装瓶。
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