化工厂在生产过程中会产生大量的废气，比如氨、硫化氢、二氧化硫、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫等等。化工厂废气处理厂家废气处理利用光量子分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
化工厂废气净化设备其净化作用机理包含两个方面：
一、在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能量能够打开某些有害气体分子的化学能，如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯类的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链分解为单质原子或无害分子。
二、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性*的O3，能与有害气体分子发生化学反应，zui后生成无害产物。
