氦质谱检漏仪需求在真空环境中进行，需求使用真空泵组才干取得所需的真空环境。

现在国内外做真空泵企业已经相当多了，国外的如：莱宝、普发、爱发科等，国内真空泵更多，不在列举。整体来讲进口泵在性能稳定性和寿数方面要比国产泵要胜。极限真空方面根本没有不同。单性价比方面国产泵更有优势、而且维修保养方便、费用更低。

氦检漏系统中主要依据用户的使用需求来配真空泵，如工作节拍、费用预算等来匹配真空的抽速巨细、及品牌挑选。

真空箱氦检漏 设备是氦质谱检漏技术在工业范畴使用广泛的一种工作方式，它的主要功能在于可以对密封产品的泄漏量进行定量检测，装备辅佐的系统及工装夹具，可以完成在线、批量、流水化作业。

真空箱氦检漏设备广泛的使用于轿车、电力、家电、空调制冷、航空航天等范畴。可以说凡是需求高精度气密性检测的地方都可能用到真空箱氦检漏技术。

真空箱氦检漏设备涉及元器件比较多，还有如真空阀门、真空计、压缩机、传感器、控制器、传动系统、工装夹具等等。限于篇幅及对知识产权的维护，本文就不逐个介绍了