氦质谱检漏仪如何应用到半导体，为什么半导体设备及材料需求做检漏？

1、半导体设备要求高真空，比方磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。呈现走漏就会导致高真空达不到或需求大量的时刻，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦呈现走漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘土就会对晶元形成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器材出产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，通过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产品，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦呈现走漏，芯片就会失效。

总归，半导体制造出产需求一个洁净的环境以保证出产过程中产品不受空气等污染或扰动的影响。为此，一个洁净的真空环境需求就成为必然。

半导体设备检漏办法: 根据待检漏产品特性, 可选择真空法来检漏, 设定好漏率值,用检漏仪直接连接待检漏配件, 检漏仪将检测配件内部的气体抽到一定的真空度, 然后氦气通过喷枪吹扫在部件的外表面. 可直观定位漏点, 诺益NHJ系列移动型氦质谱检漏仪契合人体工学设计, 移动性强, 契合规范！