跟着航天技术的发展，走漏问题已经成为航天产品设计和制造的关键因素，越来越受到各方的重视。相关电子元件的走漏检测引起了研究者的重视。现在，漏电检测技术首要应用于密封继电器和集成电路外壳。

氦质谱检漏仪可以方便地测量密封继电器的走漏率。根据不同的产品，选用合适的检漏办法。

继电器背压法氦检

现在密封继电器走漏率检测首要是GJB360A-96的112实验程序。本程序明确规定了密封继电器的检漏条件和过程。这次首要讨论背压检漏法，归于细节检漏过程。

继电器的氦质谱背压法检漏办法一般分为三步:

1.加氦压:将被测继电器放入充有氦气的压力罐中；

2.净化:将继电器从压力罐中取出，用氮气或气流吹扫吸附在继电器表面的氦气。

3.检漏:将继电器放入检漏仪的漏箱中进行检测。假如继电器发生走漏，压入腔内的氦气会通过漏孔进入检漏仪，漏率会显示在仪器上。

继电器

氦质谱检漏仪中明确规定，挑选的加压压力、加压时间和较长的停留时间，应使被检样品的规定走漏率大于检漏仪较小的可检测走漏率。因为当漏孔太大时，施加氦气压力时压入的氦气在检漏前是在真空状态下被抽出来的，所以检测不到氦。