喷雾冷冻干燥装置常见有三种：常压循环喷雾冷冻干燥、卤化碳喷雾冷冻干燥、液氮喷雾冷冻干燥。

Briggs等发明了卤化碳蒸汽喷雾冷冻干燥技术，使用含CFC或碳氟化合物作为冷却剂，喷嘴处于CFC液面10~25cm以上。

Buxton等发明了喷入卤化碳液体冷冻的方法，和以上方法不同之处是喷嘴*浸于卤化碳液体中，在喷雾过程中需要对喷嘴进行加热以防喷嘴冻结堵塞。位于装有卤化碳液体容器底部的喷嘴将料液喷出，由于直接接触冷冻液，液滴迅速冷却凝固上浮于卤化碳液体表面，通过冷冻干燥收集上浮颗粒。

研究者使用三氯乙烷、三氯乙烯和二氯甲烷等作为冷却剂，但是这些冷却剂在药物*凝固之前就能溶解部分药物成分，影响了处方的效果。

Kennedy等做了进一步的研究，使用液体冷冻剂由于没有液氮大范围的气带，颗粒的冻结时间相对较短，仅为9~36ms，而当冻结时间小于12ms时，能使相分离的程度达到zui小化，可以zui大限度的降低对处方效果的影响，达到与使用液氮相同的处方效果，这为提高SFD操作温度提供了依据。