主要通过以下几个方面对真空泵油的好坏进行区分：

 1、极低的蒸汽压：这是真空泵油的重要性能指标。蒸汽压越低真空度就会越高，由于旋片真空泵要求真空度达到0.06Pa，高的要求达到1.33×10－4Pa以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

2、合适的粘度，良好的粘温特性：真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。（粘温特性是指，随着泵内温度的升高或降低，真空油的粘度会产生变动。粘温特性好的真空油，粘度随温度的变动就越小。）

3、良好的热氧化稳定性：真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，热氧化差就会使真空泵油氧化变质。造成真空度低下，因此要求真空泵油有良好的热氧化稳定性。

4、良好的抗腐蚀性与抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。

5、较高的闪点：要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。（可燃液体挥发的蒸汽与空气混合达到一定浓度遇明火发生一闪即逝的燃烧，或者将可燃固体加热到一定温度后，遇明火会发生一闪即燃的闪燃现象，叫闪燃。发生闪燃时的固体低温度称为闪点。）