仪器生霉起雾后应及时处理，否则时间长了，就会腐蚀光学零件的表面和镀膜，甚至于玻璃腐蚀，应及时用一般的混合液或乙基含氢二氯硅烷溶液擦洗，这种溶液即防雾，又有一定的除雾除霉作用。

多倍仪的绿色滤光片大部分是磷酸盐玻璃，很容易起雾，而且很难擦干净，可以用稀的氨水清洗，而后用水洗净，再及时用混合液把滤光片表面擦干，但这种玻璃很不稳定，如果不用时，擦净放在干燥皿内，或及时作雾处理，否则还会生霉起雾。对硅酸盐玻璃尽量避免用碱性的物质去擦，因为碱对硅酸盐类有腐蚀作用。

如果当光学零件严重生霉起雾，并已腐蚀了玻璃，只有重新更换玻璃或重新把光学零件抛光。总之，光学仪器要以防为主，发现霉雾要及时处理掉，除霉雾后，要及时采取防雾防霉措施，才能保护仪器使之发挥更大的作用。