平面度 （Flatness）：平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。 平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。

平行度（Parallelism）: 用符号//表示。平行度指两平面或者两直线平行的程度，指一个平面（边）相对于另一个平面（边）平行的误差大允许值。平行度公差是一种定向公差，是被测要素相对基准在方向上允许的变动全量。以定向公差具有控制方向的功能，即控制被测要素对准基准要素的方向。

垂直度（Perpendicularity）: 用符号⊥表示。垂直度评价直线之间、平面之间或直线与平面之间的垂直状态。其中一个直线或平面是评价基准，而直线可以是被测样品的直线部分或直线运动轨迹，平面可以是被测样品的平面部分或运动轨迹形成的平面。

直线度（Straightness）：用符号—表示。限制实际直线对理想直线变动量的一种形状公差。由形状（理想包容形状）、大小（公差值）、方向、位置四个要素组成。