总体来看，超低烟尘仪的烟尘浓度监测技术大致可以分为称重法、放射性同位素法、光学法等三种。
1、超低烟尘仪称重法：即通过称量一定采样体积内的粉尘质量而计算粉尘浓度的方法。
由于间断性地从烟囱中抽取粉尘样品，只能周期性测定，连续性差。这种方法的优点在于可以测量粉尘的质量浓度，而粉尘的化学成分、分散度和粒度形状的变化对于测量精度没有影响。
2、超低烟尘仪放射性同位素法：此法又分为透射法和散射法。
(1)β射线透射法
这种方法应用较广泛。其原理是一束恒定强度的β射线穿过粉尘后，射线被粉尘吸收而衰减，射线强度的衰减量与粉尘质量呈现一函数关系，对一定采样体积的粉尘，测出β射线的衰减量，即可测出粉尘浓度。
(2)β射线散射法
当β射线穿过含尘气体时，粉尘粒子就会被激发产生轫制辐射，放射出低能γ射线，其γ射线的强度与粉尘的含量成正比。用计数管把γ射线强度转换成电流或脉冲信号，再通过一系列信号处理，即可测出含尘气体浓度。用这种原理制成的仪器可连续测量烟尘浓度，测量范围从几十毫克～十几克/标米3，测量烟道直径可达1.5米。
3、光学法：光学法可分为光吸收式和光散射式。
(1)光吸收式测尘法
恒定的光束通过含尘气流时，光的强度由于尘粒的吸收而衰减，光强的变化与气体的含尘浓度存在一函数关系。测出光强的衰减量，可测出烟尘浓度。
光学法测尘仪有单光束与双光束之分。单光束法的光学系统比较简单，要求电源稳定性好，价格比较便宜，不能自动校零和自动校正。双光束法可克服上述缺点，但结构比较复杂，价格昂贵。.
(2)光散射式测尘法
强度恒定的光束穿过含尘气流时，被粉尘阻挡而发生散射。散射光强度与粉尘浓度存在一函数关系，测出散射光强度。就可测出烟尘浓度。
