精密位置定位技术是智能制造设备、测量设备和高密度仪器实现高精度化和高速度化的基础技术之一，也是高质量直线模组的判断标准之一。直线模组属于精密件，可能因一些外部移动时、安装时产生磕碰，而发生振动发生精度的改变，那么就有必要安装精度的测量。

反复定位精度

在任意位置相同方向反复定位7次，测量其停止位置，计算读取值差的1/2。以此测量为原则，在移动距离的大约位置及两端分别进行，取计算所得值中的值为测量值。

定位精度

在同一方向上适当定位，作为基准位置。接着在相同方向定位，测量自基准位置起实际移动的距离与应该移动距离的差。在整个行程范围内重复此操作，取自基准位置起实际移动距离与应该移动距离的差当中的值为测量值。

运行平行度

在滑块固定测试千分表，用安装螺栓将导轨固定至平台，测试千分表对准这个安装面，当滑块在整个移动距离范围内移动时，将测试千分表读取值的差作为测量值。

间隙

在滑块上加装移动块，以仅移动一点时的测试千分表的读取值为基准。在这种状态下，使滑块在规定负荷下向同方向移动，然后取得抽去负荷时测试千分表的值，计算其与基准值的差。原则上，在移动距离的大约部位及两端的分别进行测量，取计算结果中的值为测量值。