什么原因会导致高纯氮色谱分析仪分析的数据产生偏差

    高纯氮在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。

    在仪器应用的过程中，影响因素种类较多且变化较复杂，而要想有效地控制这些影响因素及排除干扰测定的因素则困难比较大。例如微量氧的测定，不但要严格控制系统材质和密封，而且系统的洁净等诸多因素也必须逐一解决好，否则，氧成分分析不会得到正确的测定结果。而对于气体中微量水含量的测定，除了考虑以上提到的各种影响因素外，还必须考虑到样气中的水在管道内的吸附平衡题目，而这一题目的妥善处理必须依靠反复试验，了解其变化情况和规律，把握其中的操纵技术，以便得到正确无误的结果。当然，使用气相色谱仪测定高纯气体中ppm-ppb级杂质成分含量要考虑和控制的影响因素就更加复杂了。在分析仪器的应用过程中，对于每一次测定结果的数据，必须作出误差分析，以确定数据分析的真实性、可靠性和可信程度。一个合格的分析工作者是不会也不应该马马虎虎地把每次分析测定的结果上报或公布的。一般是在测定结果得出后，经过误差分析，在确定分析数据的误差总和小于规定的答应误差时，才将这一个(或一组)数据视为正确测定结果上报或公布。否则，不正确的数据会给生产治理者带来严重的不良后果。