电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器，可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。电子探针的大批量是利用经过加速和聚焦的极窄的电子束为探针，激发试样中某一微小区域，使其发出特征X射线，测定该X射线的波长和强度，即可对该微区的元素作定性或定量分析。
电子探针的简单原理：
1、电子光学系统：电子束直径0.1～1μm，电子束穿透深度1～3μm。
被激发原子发射特征X射线谱过程如下：围绕原子核运动的内层电子，被电子束的电子轰击后，其他外层电子为补充轰击出的电子而发生跃迁，在跃迁过程中释放出能量，即发射出X射线。
2、X射线谱仪：测量各种元素产生的X射线波长和强度，并以此对微小体积中所含元素进行定性和定量分析。
3、X射线强度测量系统：特征X射线，由B系统中的计数管接收，并转换成电脉冲，通过脉冲高度分析仪、计数率计、定标器、电子电位计将其强度测量出来。
4、光学显微镜目测系统：用以准确选择需要分析的区域，并作光学观察。
5、背散射电子图像系统。
6、吸收电子图像系统。
7、特征X射线图像系统：电子探针的技术核心是利用X射线晶体光学，主要应用两种方法：
a、晶体衍射法：利用晶体转到一定角度，来衍射某种波长的X射线，通过读出晶体不同的衍射角，求出X射线的波长，从而定出样品所含的元素；
b、X射线能谱分析法：无须分析晶体，而直接将探测器接收的讯号加以放大，进行脉冲幅度分析，通过选择不同的脉冲幅度来确定入射x射线的能量，从而区分不同的特征X射线。计算时应用布拉格方程：nλ=2dsinθ。
