真空设备的应急处理

                                                                   真空设备的应急处理

（1）高温时断水、断电。真空设备*怕的就是高温时断水、断电。因此用户*好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。

        设备在高温时断水、断电，此时，泵、阀门均应处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自来水，对设备进行水冷，如不能很快来电，还应打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气保护，充气压力为-0.02MPa左右。然后，把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处，定期更换，以免电极接口过热，造成密封圈损坏。

        （2）更换充气气瓶。设备所用充气气瓶需更换时，拆掉稳压阀，换上一瓶新气，一定要注意安装时不许漏气。在换上新气瓶后，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气，以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出，使充气管路保持清洁。

        （3）正常工作时，发现设备突然漏气，如马上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住，待工作完毕后，再做处理。如不能确定泄露处，则应立即停止工作，然后检修。

        （4）设备工作一段时间，一般50到70炉次，需清理打扫，把粉尘清出炉外，然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20℃。在*高炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。
 

Q1：真空设备在高温时断水、断电应如何处理？

A1：泵、阀门均应处于关闭状态，接通备用水或自来水进行水冷，如不能很快来电，还应打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气保护，充气压力为-0.02MPa左右，把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置，同时用湿毛巾搭在电极引出接口处，定期更换。

Q2：更换真空设备的充气气瓶时需要注意什么？

A2：拆掉稳压阀，换新气瓶时不许漏气，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气，抽出管路内存有的大气，使充气管路保持清洁。

Q3：正常工作时发现真空设备突然漏气应如何处理？

A3：如马上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住，待工作完毕后，再做处理；如不能确定泄露处，则应立即停止工作，然后检修。

Q4：真空设备工作多久需要清理打扫？

A4：设备工作一般50到70炉次，需清理打扫。

Q5：真空设备清理打扫后空炉工作的方式是什么？

A5：先抽空为真空度高于10-2Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20℃，在最高炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却。

• 此信息来自-深圳市金华杰电子有限公司-作者：深圳市金华杰电子有限公司集二十年丰富的研发、设计及生产经验，公司拥有一批专业从事生产、销售及维修的技术人员，可***多途径为国内外光学镀膜行业，光盘行业，光磁存储行业，半导体生产行业，平板及光电显示器行业，分析仪器及科研行业,真空工业应用等行业提供**服务。