标准型接近传感器技术的发展

　集成的标准型接近传感器是采用集成电路制造技术和微机械加工技术将功能相同，类似的功能或不同功能的标准型接近传感器部分成一组的一维线性标准型接近传感器或二维平面阵列标准型接近传感器或生产技术和微型计算机接口技术将标准型接近传感器和信号调理电路，补偿电路集成在同一芯片上使用微电子电路。

　　可分为三种类型：

　　1将多个功能相同的敏感元件放在同一芯片上，检测其线性、表面，甚至是身体形状的分布信息。

　　2具有相似结构和功能的敏感元件集成在同一芯片上，以确保标准型接近传感器的测量精度。

　　3将多个不同功能的多个标准型接近传感器集成在同一芯片上，使标准型接近传感器可以测量不同性能的参数，实现综合检测。微标准型接近传感器一般是指从几微米到几毫米的这种特征尺寸的敏感元件，一般来说，它包括三种结构：

　　1、微标准型接近传感器，通常它是一个简单的功能的一个简单的标准型接近传感器，其敏感元件的过程和集成过程一般是兼容的。

　　2、微机械结构的微结构标准型接近传感器的机电一体化。

　　3、数字接口、自我测试、EPROM芯片(CPU)、数字补偿和总线的兼容性，如微标准型接近传感器系统的功能。

　　基于微加工技术和大规模集成电路技术的标准型接近传感器智能化、网络化智能标准型接近传感器系统，采用硅作为基本材料生产敏感元件，信号处理电路，微处理器单元，它们集成在一个单一的芯片，所以它也被称为

　　集成智能标准型接近传感器(智能/智能标准型接近传感器集成)。该智能标准型接近传感器系统具有自检测、自补偿、自校正、自诊断、远程设置、状态组序、信息存储、内存等功能。