连续波射频电源是半导体、光电制造领域的核心能量供给设备，区别于脉冲型射频电源，它以恒定不间断的高频正弦波输出能量，为等离子体生成提供持续稳定的电场支撑，是PVD射频溅射、PECVD化学气相沉积等核心工艺的关键配套装置。
这类设备的主流工作频点覆盖1.765MHz-40.68MHz等工业ISM频段，在50Ω标准负载下，额定功率覆盖1250W至3000W区间，功率精度可控制在±1%以内，300W额定功率下转换效率可达90.1%，功率稳定度优于±0.5%。其系统架构由射频功率本体、传输馈线与自动阻抗匹配器协同组成，本体内部集成AC-DC整流滤波、DDS高频振荡、固态功率放大、射频互锁控制等核心模块，通过水冷+风冷的复合散热方案保障长时间连续运行的可靠性。
针对等离子体负载动态非线性、易瞬时打火的特性，连续波射频电源搭载自动AFT扫频与DFT动态扫频技术，可在复杂负载场景下完成快速高精度的频率自整定，配合毫秒级的弧光检测与抑制机制，大幅降低工艺中断风险。当前国产连续波射频电源已实现技术突破，逐步打破海外厂商的长期技术垄断，产品已可支撑7-14纳米先进制程的工艺需求，成为半导体设备国产化替代进程中的关键一环。
