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GSL-1800X-ZF4 高真空蒸发镀膜仪

GSL-1800X-ZF4 高真空蒸发镀膜仪

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号：
  • 品牌：
  • 产品类别：实验仪器
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 样本：
  • 更新时间：2023-02-25 18:58:31
  • 浏览次数：10
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产品简介

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料

详情介绍

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

性能指标和基本配置
主要特点

● 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
● 采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。
● 真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板 阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于安装其他设备）。
● 在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。
● 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。
● 样品台安装在腔体的顶部。
● 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。
● 可使用循环水冷机。
1

技术参数

● 输入：单相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW
● 输出：0-8V AC 可调，电流400A，功率8000W（包括真空泵）
● 真空腔：Φ300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理
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● 腔门：Φ200mm
● 观察窗：Φ95mm，采用专用密封圈密封
● 真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s（标配GZK-103G分子泵）
● 真空度：5.0×10-6torr（泵开启40min后）
● 极限真空度：5.0×10-7torr （加热温度为100℃-150℃）
● 漏率：5.0×10-7Pa/s
● 样品台：Φ140mm
● 蒸发舟与样品台间距：260mm
● 冷却水需量：15L/min
1

产品尺寸

650mm×1200mm×1600mm；

产品重量 600kg
保修期 一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
点击查看售后服务承诺书。
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