OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等离子增强化学气相沉积三温区回转管式炉系统（R-PECVD），等离子增强系统的引入可在相对较低的温度下实现粉末表面的包覆复合、核壳结构制备等工艺过程。自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集，包含射频电源（带自动匹配功能）、4通道质子流量计控制系统以及真空泵系统，可由PLC触摸屏或者PC电脑控制，使用方便快捷。
| 性能指标和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 结构特点 | ● 炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸 | |
| 三温区回转炉 | ● 温度：1200ºC(< 1h) 连续工作温度：1100℃ | |
| 等离子射频电源 | ● 输出功率：5-300W可调（稳定性：±1%） | |
| 石英管 | ● 标准5英寸高纯异形石英管 | |
| 密封法兰 | ● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头） | |
| 旋转速度 | 2-10rpm可调 | |
| 炉体可倾斜角度 | 0~30° | |
| 真空泵及真空表 | ● EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数 | |
| 4通道质子流量计控制系统 | 4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%） | |
| 容积式进料器 | ● EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理 | |
| 温度控制 | ● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制 | |
| 产品尺寸 | 2800mm L x 800mm W x 1700mm H，供气系统：60600mmL x 700mm W x 700mm H | |
| 产品重量 | 180kg | |
| 应用注意事项 | ●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ ●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | |
| 质量认证 | 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证 | |
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 | |
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