OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition),滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。
性能指标和基本配置 | |
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特点 | ● 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验 |
开启式管式炉 | ● 输入电源: 208 – 240V AC,功率: 1.2kW |
等离子体射频电源 | ● 输出功率: 5 -300W 可调 稳定性± 1% |
真空法兰和接头 | ● 真空法兰采用 304不锈钢制作. |
真空泵及水冷机 | ● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W |
外形尺寸 | 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H) |
净重 | 160kg |
应用注意事项 | ●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度<1100℃ ●对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
质量认证 | CE Certified |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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