OTF-1200X-50S-PE 小型PECVD管式炉系统-深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为理想。

性能指标和基本配置
开启式管式炉	● 输入电源：208 – 240V AC, 1.2kW ● 工作温度1200℃（小于1小时） ● 连续使用温度1100℃ ● 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率 ● 高纯石英炉管，尺寸为 50mmOD x 44mmID x 780mmL ● 可设置30段升降温程序，并带有过热和断偶保护 ● 加热区长度为200mm 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的数据，请与我公司销售人员联系
等离子体射频电源	● 输出功率: 5 -500W可调 ● 稳定性为+/-1% ● 射频电源频率13.56 MHZ, 稳定性±0.005% ● 反向功率: 200W max ● 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半岛体, 阴极 ● 噪声<50 dB. ● 冷却方式：空气冷却 ● 输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz
真空法兰和接头	● 真空法兰采用304不锈钢制作 ● 左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。 ● 右端法兰设计为KF25接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个KF25卡箍 ● 仪器中所配的数字真空计，可以不用因使用气体的不同而进行校正，同时还具有防腐功能
真空泵	● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W ● 2L/s ● 与本公司管式炉配套使用，可使其真空度达到10-2 torr ● 进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
产品尺寸和重量	外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) 净重: 160 lbs
可选配置	● 请点击查看下面的混气及气液混合系统 ● 防腐型小型三路浮子混气系统 ● 精密气液混合系统 ● 三路质子混气系统
混气系统	● 3个浮子流量计安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。 ● 路气体流量范围为10-100 cc/min. ● 第二路气体流量范围为16-160 cc/min. ● 第三路气体流量范围为25-250 cc/min. ● 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接，来监测混合气体的压力
开门断电	● 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ ●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	CE Certified
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。