VTC-16-SM是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪,包含一个2英寸水冷靶头(另有1英寸靶头可选)和可旋转样品台,外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵。
性能指标和基本配置 | ||||||
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主要参数 | ● 输入电源:220VAC 50/60Hz | |||||
溅射腔体 | ● 采用石英腔体,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H | |||||
溅射头&样品台 | ● 2英寸带水冷的磁控溅射头(注意:水冷机不是标配)另有1英寸靶头可选(图一) | |||||
控制面板 | 6" PLC集成触摸屏控制面板,可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度 | |||||
真空系统 | ● 安装有KF25真空接口 | |||||
进气 | ● 含一个控制进气的针阀和一个放气阀 | |||||
靶材 | ● 靶材尺寸要求:Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度) | |||||
各种靶材的参数(仅供参考) | 对于溅射各种金属靶材,需要摸索的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(参考值,详情请点击) | |||||
靶材种类 | 真空度(Pa) | 溅射电流(mA) | 时间(s) | 溅射次数 | ||
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | ||
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | ||
可选配件 | ● 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上(见图一) | |||||
产品尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 520 mm | |||||
净重 | 20 kg(不包含泵及水冷机) | |||||
使用提示 | ● 有时为了达到理想的薄膜厚度,需要多次溅射镀膜 | |||||
警告 | ● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 | |||||
认证 | CE认证 | |||||
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 |
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