OTF-1200X-4-C4LVS 1100℃双管滑动快速加热冷却炉-深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1200X-4-C4LVS双管炉是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究，通过滑动炉子实现快速加热和冷却。

性能指标和基本配置
炉体结构	单温区 ● 一对SS304不锈钢法兰，通过用两个高温O型圈紧密密封可获得高真空 ● 炉子底部装有一对滑轨，炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却 ● 双管道设计，内外管径分别为80mm、100mm,用于沉积的衬底包裹在内管外壁表面 ● 高纯氧化铝保温材料，保证了炉膛有的温度均匀性 ● 内炉膛表面涂有美国进口的1750℃高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 ● 炉子底部的冷却风扇加快了热量发散 ● 密封法兰系统全不锈钢制作	双温区 ● 高纯氧化铝保温材料，保证了炉膛有的温度均匀性 ● 炉子底部的冷却风扇加快了热量发散 ● 工作温度：1200℃；连续1100℃ ● 两段加热区分别独立控温（每个加热区长度200mm，总长400mm） ● 两个温区设置同样的温度，恒温区可增加至250mm ● 在两个温区中间放入管堵（隔热）则两温区温差可达300℃。
基本参数	单温区	双温区
	● 功率：2.5KW（20A保险丝）	● 功率：4KW（50A保险丝）
	● 电压：AC220V 50Hz 单相
	● 工作温度：1100℃；1000℃（长期）
	● 加热炉本体建议升温速度：10℃/min
	● 加热区长：200mm	● 加热区总长：400mm
	● 石英管：内管O.D80×I.D 75×L1800 mm ● 外管O.D100×I.D 96×L1400 mm
加热和冷却速率	的加热和冷却速度跟工作温度有关，请点击下图看出的加热和冷却速度随温度的变化而变化。在使用炉子之前，要校准工作温度和加热、冷却速度。此为参考值，因实验环境不同，会有差异，具体请咨询销售部。
石英管	● 两对真空密封法兰，含水冷套和不锈钢针阀 ● 内管：O.D80 ×I.D 75×L1800 mm ● 外管：O.D100×I.D 96×L1400 mm
特点	● 双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径80mm. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应 ● 双管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管 ● 四通道质量流量计控制4路气体 ● 配有KF25快接和波纹管的高速机械泵 ● 炉子底部装有滑轨：炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温
真空法兰	利用双管炉采用CVD法以金属箔为衬底上生长的薄膜(缠绕在内收卷辊表面) 请点击相关文章:“卷对卷法制备30"石墨烯透明电极" 如下图所示，一对不锈钢真空法兰密封了外管道，内管道和内外管道之间的空间(该空间为反应室)。将两端内管的两端打开以供气体冷却。极限真空度: 10^-2 torr (机械泵) 10^-5 torr (分子泵)
可选	本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8×10E-5至1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
温控系统	● PID自动控制 ● 可编制30段升降温控制程序 ● 内置过热报警装置，无需人员看护 ● 内置超温保护和报警装置 ● 控温精度: ±1℃ ● 默认RS485通信端口 ● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据
温控系统（可选）	● 可选购欧陆型温控仪表，控温精确度可以提升到±0.1℃ ● 具体详情请致电我公司销售
混气系统
真空泵	● 安装在移动架底部的机械泵，真空度达10E-3torr（参考值，详情请点击） ● 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 ● 数字真空表安装在一端的法兰上 ● 选择：可以配分子泵，真空度达 10E-5torr（参考值，详情请点击）
水冷机（可选）	● 法兰上的水冷主要是为了保护法兰内O形圈，以确保其在高温下的密封性。 ● 你可以直接接通自来水冷却，但考虑到经济环保我们建议你使用循环水冷机。请点击下图选购循环水冷机。
可选配件（改单管炉）	● 你可以将该款双管炉改为单管炉使用（Ф80mm）。单管炉的真空法兰需要您额外定购。 ● 左法兰:设置有宝塔嘴式进口及针阀，Ф1/4"铠装口供客户端插入热电偶，用于温度校准。 ● 右侧法兰:KF25接口，机械压力表，出气口及针阀
铜箔(选配）	作为基片用的25um厚的铜箔
外形尺寸	590L×380W×520H mm(炉体） 600L×600W×700H mm(真空泵） 600L×850W×700H mm(混气系统）
净重	136Kg
使用注意事项	● 石英炉管采用真空密封，管内可处于微正压但压力小于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。（请点击这里学习如何安装减压阀） ● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。（请点击这里学习如何安装炉管和真空法兰） ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ ● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） ● 滑轨上设置有一个炉体定位装置（如下图） ● 在进行化学气相沉积后，石墨烯可从金属催化剂转移到另一个基片衬底上，此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯，表面平整度高且无残渣。
国家	名称：一种快速高温退火炉编号：ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究
应用提示	● 为了得到较快的加热速度，可以先将炉膛预热，然后滑到放置样品的位置。 ● 为了获得较快的冷却的速度，把炉子滑向另一端，同时将冷却气体通入样品所在的位置。
警告	样品的快速升温和冷却可以通过滑移加热的炉体来实现。请在操作时穿上防护装备，如防热服和高温手套。禁止用手去触碰加热的炉管表面!
认证	所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。
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