OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统，齐炉管直径为4英寸，它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成，其温度可达1200℃，极限真空可达to 10^-5 torr，混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部，用来研究气体环境对材料的影响。
| 性能指标和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 管式炉 | 壳体结构 | ● 采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于60度 。 |
| 加热元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，使其延长加热元件的寿命） | |
| 工作温度 | 1200°C | |
| 连续工作温度 | 1100°C | |
| 升温速率 | ≤20°C/min | |
| 加热区长度 | ● 总温区长度: (880mm, 35" in total) | |
| 炉管尺寸和材质 | 材质：高纯石英管 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm | |
| 温控系统 | ● 三个数字精密温度控制器，可设置50段升降温程序，每个温区可以进行独立控温。 ● PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/ - 1 °C。 ● 带有过热和断偶保护。 | |
| 热电偶 | 3根K型热电偶 | |
| 输入电源 | AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：7KW | |
| 真空配件 | 标准的真空配件包括： ● 两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口。 ● 两个精密针阀和一个1/4“软管接头。 ● 6个高温硅胶O型密封圈，可承受温度300°C。 ● 为了防止热量以热辐射的形式散失，高温损坏密封圈，炉子在加热前必须放入氧化铝管堵。 ● 一根KF-40 抽真空波纹管。 ● 三个KF-40 快速卸装卡箍。 ● 2个KF-25 快速卸装卡箍 | |
| 高真空机组 | 结构 | ● 壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm |
| 真空传感器 | ● 真空传感器有一个kf 25接口 | |
| 控制面板 | ● 一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动） ● 系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率。      | |
| 抽气速率 | ● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s | |
| 工作范围 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
| 极限 | 10^-5 torr (with tube furnace) | |
| 输入电源 | 110V AC or 220V AC可切换的, 50/60Hz | |
| 消耗功率 | 持续时间/功率: 100/110Watt | |
| MFC 质量流量控制器 | ● 9通道精密质量流量控制器，安装在移动架上，并带有数字显示。 | |
| 运输信息 | ● 炉子尺寸: 550 x 380 x 520mm | |
| 重量 | 净重: 100Kg | |
| 应用注意事项 | ● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | |
| 质量认证 |  CE certified | |
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 | |
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。