OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.
性能指标和基本配置 | |
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高温炉壳体 | ● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃ |
功率 | 2.5 KW |
电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
工作温度 | 1200℃ |
连续工作温度 | 1100℃ |
升温速率 | ≤20 ℃ |
炉管材质和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加热元件 | 掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其延长使用寿命) |
加热区长度 | 400 mm |
控温系统 | PID30段程序化控温 |
控温精度 | +/- 1 ℃ |
真空密封系统 | ● 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),漏气率6 mtorr/min |
真空泵 | ● 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。 |
防腐型真空计 | ● 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍) |
混气系统 | ● 三个浮子流量计 |
产品净重 | 约60kg |
运输重量 | 200kg |
外形尺寸 | ● 炉体:550 x 380 x 520mm |
开门断电 | ● 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计 |
应用注意事项 | ●炉管内气压不可高于0.02MPa |
质量认证 | CE Certificate |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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