OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.
性能指标和基本配置 | |
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壳体结构 | ● 双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于 55 ℃ |
功率 | 2.5 KW |
电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
工作温度 | 1200℃ |
连续工作温度 | 1100℃ |
升温速率 | ≤20 ℃ |
炉管材质和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加热元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
加热区长度 | 两个加热区: 每个温区200 mm (8") |
温度控制器 | ● 两个精密的温度控制器,单独的控制两个温区 |
控温精度 | +/- 1 ℃ |
真空密封系统 | ● 两个不锈钢密封法兰,法兰上有KF-25接口和法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)阀门 |
真空泵 | ● 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。 |
防腐型真空计 | ● 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍) |
混气系统 | ● 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 |
阀门 | 四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处 |
产品净重 | 约60KG |
运输重量 | 600 lbs |
外形尺寸 | ● 炉子: 550 x 380 x 520 |
开门断电 | ● 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计 |
应用注意事项 | ●炉管内气压不可高于0.02MPa |
质量认证 | 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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