OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
性能指标和基本配置 | ||
---|---|---|
基本参数 | ● 工作温度:900℃(<10min); | |
炉体结构 | ● 带风冷的双层铸钢外壳使得炉体表面温度低于60℃(参考值) | |
加热元件 | 8 根红外灯管 (每个灯管功率1.5KW) | |
升温降温速率 | ● 升温速率: | |
温控系统 | ● 包含一款808P型温度控制器 | |
温控系统(可选) | ● 可选购欧陆型温控仪表,控温精确度可以提升到±0.1℃。 | |
石英管和样品架 | ● 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length | |
真空法兰 | ● KF-25D型不锈钢高真空法兰上配有两个高温硅胶O形圈并安装有针阀和水冷套。 | |
真空系统(可选) | ● 用机械泵真空度达 50 mtorr | |
水冷机(可选) | ● 如果您没有水冷机,选购一台冷却机是必要的。 | |
流量计 | 标配流量计量程范围:16 - 160 ml/min | |
真空表 | ● 此设备标配一个机械压力表 | |
注意 | 此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发)炉(可查看下方的图片自己制备RTE) | |
尺寸 | 760(L)×330(W)×530(H) mm (法兰关闭) | |
净重 | 70Kg | |
可选 | ● 您可以将RTP炉,真空泵及混气系统搭建组合为真空炉或CVD系统 | |
使用注意事项 | ● 炉管内气压不可高于0.02MPa | |
国家 | 名称:一种快速高温退火炉 编号:ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 | |
质量认证 | 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证CE认证/若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 | |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 | |
免责声明 | 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。 |
所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。