TF-1200X-4-C4LVS 1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统-深圳市科晶智达科技有限公司

TF-1200X-4-C4LVS 双管炉是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。

性能指标和基本配置
炉体结构	● 高纯 Al2O3保温材料，保证了炉膛有的温度均匀性. ● 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。 ● 炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放. ● 密封法兰系统全不锈钢制作。
电源	电源:208-240VAC, 50/60Hz, 单相, 2.5KW ( 20A 保险丝)
加热温度	● 温度: 1100°C ● 连续温度: 1000°C
加热区	加热区长度: 440mm
加热和冷却速度	的加热和冷却速度跟工作温度有关，请点击下图可以看出的加热和冷却速度随温度的变化而变化。 ( 在使用炉子之前，要校准工作温度和加热、冷却速度 )
石英管	● 外管:OD100 x ID 96 x 1400, mm ● 内管:OD80 x ID 75 x 1800 mm
真空法兰	● 一对 SS304不锈钢法兰，通过用两个高温“O"型圈紧密密封可获得高真空。 ● 炉子底部装有一对滑轨 ● 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。 ● 为了得到较快的加热速度，可以先将炉子预热，然后滑到放置样品的位置。 ● 为了获得较快的冷却的速度，把炉子滑向另一端，同时将冷却气体通入样品所在的位置。极限真空度: 10^-2 torr (机械泵) ，10^-5 torr (分子泵) 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
温控仪	● 温控仪:带超温保护和PID调节的 30 段程序控制。 ● 控温精度: +/-1°C
混气系统	4路精密质子流量计： ● 数字显示、气体流量自动控制. ● MFC 1范围: 0~100 sccm ● MFC 2范围: 0~200 sccm ● MFC 3范围: 0~200 sccm ● MFC 4范围: 0~500 sccm ● 气路: 4 路 ● 流量精度: 0.2% ● 进气和出气接口: 1/4" 卡套 ● 一个混气罐. ● 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。 ● 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量.
真空泵	● 安装在移动架底部的机械泵，真空度达 10-3 Torr. ● 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 . ● 数字真空表安装在一端的法兰上.. 选择: 可以配分子泵，真空度达 10-5 Torr .
作为基片用的25um厚的铜箔 (选配）	生长石墨烯的铜箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸（mm)	● 炉体: 550 x 380 x 520 ● 移动架: 600x600x597
净重	300 lb
应用注意事项	● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	● CE认证 ● 所有电器元件（≧24V）都通过了UL/MET/CSA认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。