OTF-1500X-III-4CV-PE-SL 三温区1500℃ PECVD系统-深圳市科晶智达科技有限公司

OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统，它是由500W的射频电源，1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。

性能指标和基本配置
三温区开启式1500℃管式炉	● 工作温度1500℃ ● 连续使用温度1400℃ ● 三个温区分别由三个温控系统来控制，都可设置30段升降温程序 ● 每个温区长度为200mm ● 总温区长度为600mm ● 炉管为高纯刚玉管 ● 炉管尺寸：（标配）60 O.D x 53 I.D x 1500mm L ● 炉管尺寸：（选配）80 O.D x 73 I.D x 1500mm L ● 输入电源： 208 – 240V AC，单相 ● 功率：6.6KW ● 配有一对不锈钢真空密封法兰，法兰上带有石英观察窗口 ● 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料）
射频电源	● 输出功率: 5 -500W ± 1% . ● 射频频率: 13.56 MHz ±0.005% . ● 反射功率: 200W ● 匹配:自动 ● 射频接口: 50 Ω, N-type ● 噪音: <50 dB. ● 冷却:风冷. ● 电源: AC 208-240V, 50/60Hz
防腐型真空计	● 输入电源：24V，1A DC（配有一电压转换器） ● 测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr. ● 数据显示：数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr ● 接头：1/8"NPT 接头 ● 产品尺寸：46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
真空系统	● 采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr ● KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连. ● 管内真空可达10E-2 Torr
质量流量计混气系统	● 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制. ● MFC 1范围: 0~100 sccm ● MFC 2和3: 0~200 sccm ● MFC 4范围: 0~500 sccm ● 一个混气罐，底部装有泄废液口. ● 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体. ● 进气口: 4个1/4NPS. ● 出气口: 4个 1/4NPS. ● 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制
温控系统	● 三个温区分别由三个温控系统控制 ● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序 ● 带有超温和断偶保护 ● 控温精度：+/- 1 ºC 可选;此款设备可以安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑
外型尺寸	● 炉体：550 x 380 x 520 mm ● 炉体下端移动柜：1800×600×600mm
重量	净重：220 Lbs. 运输重量：1200lbs
质量认证	所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。