活性炭的预处理对低温泵工作性能的影响

　　低温泵是利用低温吸附而达到获取真空的装置。与其他真空获取设备相比，其具有无油、低振动等优势。活性炭是低温泵常用的一种吸附剂，其对低温泵的工作性能起着关键性的作用。根据真空度的需求，一般要求低温泵对氢的抽速较大。这就需要适合于氢的吸附的活性炭。椰壳活性炭的孔隙大小对氢的吸附比较适合。本文首先对活性炭进行了预处理，用扫描电子显微镜和低温吸附仪对其结构和吸附性能进行了表征，并将其用于低温泵的吸附镇，发现安装了经过处理活性炭的低温泵其抽气速率和极限真空都有一定的提高。

　　低温泵在半导体、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机等领域有着重要的应用。随着真空技术的发展，世界范围内对真空的需求也越来越广泛，特别是无油的洁净真空。与其它真空获得产品相比，低温泵具有无油低振动等显著优势，是获得清洁真空的极限压力zui低、抽气速率zui大的真空泵，另外低温泵在抽除水蒸汽等低蒸汽压物质具有更强的能力。因此，在真空应用领域低温泵具有比其他真空获得设备更为明显的优势。

　　低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝

　　结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。其中低温吸附对低温泵的工作性能有着决定性的作用。

　　因此，如何提高吸附剂的吸附性能成为低温泵研制过程中重要的环节。一般情况下低温泵所使用的吸附剂是活性炭，根据所要抽速气体分子的大小不同选择不同类型的活性炭[1]。一般从市场上买来的活性炭由于在生产、运输、存储过程中会有部分孔发生堵塞，因此需要对活性炭进行扩孔、去灰等预处理。