2026年04月15日 08:29:12 来源：北京时代天启真空科技有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量：0
此设备属于薄膜制备设备，首先，用于生长各种微纳米尺度的单层膜或多层膜材料，可制备超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜，以及各种具有特殊功能的薄膜，尤其是在微电子机械系统、微流体、纳米压印、微电子封装、生物芯片等跨学科领域有着重要应用。其次，用于第三代半导体开放研发线，能够成为SiC及GaN沟槽型器件的制备的关键工艺，同时也是C膜、金属薄膜等类似薄膜制备的手段之一。设备主要包括：
1、沉积反应腔
2、样品台系统
3、磁控溅射阴极靶系统
4、直流和射频供电系统
5、高真空无油排气系统
6、真空测量及控制系统
7、气体流量控制系统
8、LOAD-LOCK手动上下片系统
9、上位机软件控制系统
以上就是小编为大家介绍的超高真空磁控溅射镀膜机的全部内容，看完这篇文章相信大家应该有所了解了！
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