辉光光谱仪是一种用于材料科学领域的分析仪器，主要用于浓度分析和表面分析。它既可以满足各个复杂基质样品的元素总量分析，还可进行表面各元素深度变化的定量薄层分析，甚至还可完成其他发射光主谱仪从未涉及的样品类型的分析。
基本工作原理：
辉光光谱仪属于发射光谱分析仪器，和其它发射光谱仪大笔，它的基本工作原理大致相同，就是对一种光源加以利用使被测样品元素处于受激状态，样品元素外层电子由高能态向着低能态返回时，特征光谱被发射出。通过素发射出的特征光谱将样品中含有的元素分析出来。
辉光放电灯作为辉光放电仪的光源，有二个电极在一个RF辉光放电光源内，直径为4mm管状铜电极为其中一个，是阳极，阳极接地。而样品作为阴极，使得一个RF电位维持着，此为通过高频(RF)电源感应产生的电位。将低压氩气充入辉光放电灯内，有少量氩离子在灯内自发产生，在RF电位作用下，从阳极-阴极间隙穿过，使得高速震荡产生，被加速了的氩离子和氩原子发生碰撞，使得更多的氩离子和电子产生，使得等离子体形成，也就是所谓的辉光放电，等离子体中的高速氩离子到达样品(阴极)表面，使样品表面的物质被均匀地溅射出来，往辉光放电等离子体中扩散扩散，在其中解离-原子化，从而被激发，使得样品组份的特征光谱发射出来。
利用光学系统聚焦、分光来自样品的光，到达高动态范围检测器HDD，高动态范围检测器HDD接收了光信号，光信号被转换成电信号，利用电子控制系统送到计算机加以处理。计算机安装专用软件，比较软件中预置的标准曲线与各种元素的光强信号，从而将各元素的浓度测算出来，在进行表面逐层检测时，元素浓度与深度间的关系还能够同时被给出。
辉光光谱仪的特点：
1、狭窄的谱线宽度：在辉光放电光源内的等离子体中，氩气具有较低的温度，并且光源内保持一定的低压，使得洛仑兹效应与多普勒效应减小了。使得和其他光谱仪相比，其拥有更加狭窄的谱线宽度，也就拥有更少的狭窄谱线间叠加干扰现象。
2、较小的自吸收效应：在辉光放电光谱中，样品激发时的等离子体厚度由于光源的设计变薄，也就产生较小的自吸收效，所以可以获得的校准曲线的线性范围较宽。
3、较小的基体效应：在辉光放电光源中，样品表面原子首先被溅射出来进而被激发的。对于组成和结构均有所差异的样品，尽管溅射率不一样，然而对元素的激发过程所产生的效应不是太明显。所以能够通过对各标准样品或纯物质的溅射率进行计算，校正 测得的强度，能够在同一条校准曲线上制作组成和结构有所差异的样品中的同一元素。定量深度剖面分析的理论依据也是如此。
