VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。
性能指标和基本配置 | ||||||
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主要参数 | ● 输入电源:220V 通用 功率:< 1KW | |||||
溅射腔体 | ● 采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H | |||||
样品台 | ● 一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片,可以电动控制移动三个位置 | |||||
控制面板 | ● 控制面板为PLC,4.3" 触摸屏 | |||||
真空泵(选配) | ● 用机械泵真空度达 50 mtorr(仅供参考,详情请点击) | |||||
进气口 | 一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量 | |||||
靶材 | ● 要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm | |||||
各种靶材的参数(仅供参考) | 对于溅射各种金属靶材,需要摸索的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(仅供参考,详情请点击) | |||||
靶材种类 | 真空度(Pa) | 溅射电流(mA) | 时间(s) | 溅射次数 | ||
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | ||
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | ||
产品尺寸 | 460mm×330mm×540mm (L×W×H) | |||||
净重 | 50 kg(不包括泵) | |||||
使用注意事项 | ● 由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节 | |||||
警告 | ● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体 | |||||
认证 | CE认证 | |||||
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 |
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