您好,欢迎来到中美贸易网!请 |免费注册

产品展厅本站服务收藏该商铺

深圳市科晶智达科技有限公司

免费会员
手机逛
深圳市科晶智达科技有限公司
当前位置:深圳市科晶智达科技有限公司>>实验设备>>薄膜制备设备>> VTC-16-3HD 小型三靶等离子溅射仪

VTC-16-3HD 小型三靶等离子溅射仪

产品二维码
参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:实验仪器
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2023-02-25 19:16:55
  • 浏览次数:9
收藏
举报

联系我时,请告知来自 中美贸易网

深圳市科晶智达科技有限公司

其他

  • 经营模式:其他
  • 商铺产品:1938条
  • 所在地区:
  • 注册时间:2014-12-09
  • 最近登录:2022-11-28
  • 联系人:廖胜眉
产品简介

VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式

详情介绍

VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。

性能指标和基本配置
主要参数

● 输入电源:220V 通用 功率:< 1KW
● 工作电流: 溅射电流:0-50 mA可调
● 单次工作时间:0-5分钟可调
● 靶头数目:3个
● 输出电压:1600V DC
● 样品台加热温度:500℃(选配,详细请联系售后)

溅射腔体

● 采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
● 密封:O形密封圈密封

样品台

● 一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片,可以电动控制移动三个位置
● 溅射距离:溅射距离可调
● 可选购加热型样品台(温度可到500℃)
● PID控制器控温精度+/- 1℃(已集成到触摸屏上)
1

控制面板

● 控制面板为PLC,4.3" 触摸屏
● 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度
1

真空泵(选配)

● 用机械泵真空度达 50 mtorr(仅供参考,详情请点击)
● 用分子泵真空度可达 10-4 torr(仅供参考,详情请点击)
1

进气口 一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量
靶材

● 要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm
● 可在本公司选购靶材,具体请点击链接
1

各种靶材的参数(仅供参考) 对于溅射各种金属靶材,需要摸索的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(仅供参考,详情请点击)
靶材种类 真空度(Pa) 溅射电流(mA) 时间(s) 溅射次数
Au 31-33 28-30 100 1
Ag 31 28 100 1
产品尺寸 460mm×330mm×540mm (L×W×H)
1
净重 50 kg(不包括泵)
使用注意事项

● 由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节
● 有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜
● 为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)
● 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
● 要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面
● 超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。
● 等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物
● 制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力
1 1 1 1 1
超声波清洗机 等离子清洗机 大功率磁控溅射仪 蒸镀仪 手套箱

警告

● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体
● 气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用
● 溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶

认证

1CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
点击查看售后服务承诺书。
暂无内容
暂无内容
上一篇: VTC-16-D 小型三靶等离子溅射仪
下一篇: VTC-3RF 三靶射频磁控溅射镀膜仪
我要评论
文明上网,理性发言。(您还可以输入200个字符)

所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。

请选择省份

  • 安徽
  • 北京
  • 福建
  • 甘肃
  • 广东
  • 广西
  • 贵州
  • 海南
  • 河北
  • 河南
  • 黑龙江
  • 湖北
  • 湖南
  • 吉林
  • 江苏
  • 江西
  • 辽宁
  • 内蒙古
  • 宁夏
  • 青海
  • 山东
  • 山西
  • 陕西
  • 上海
  • 四川
  • 天津
  • 新疆
  • 西藏
  • 云南
  • 浙江
  • 重庆
  • 香港
  • 澳门
  • 中国台湾
  • 国外
=
同类优质产品

在线询价

X

已经是会员?点击这里 [登录] 直接获取联系方式

会员登录

X

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

X
该信息已收藏!
标签:
保存成功

(空格分隔,最多3个,单个标签最多10个字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我们将在第一时间回复您~